ICP光譜儀的主要性能指標是檢出限、短時間穩(wěn)定性、長時間穩(wěn)定性和儀器分辯率，測試這些指標需要幾乎一整天的時間，好在這些指標在儀器安裝調試時是必需要做的，考察儀器時，可以著重查看現(xiàn)有同類型儀器的實際驗收報告，以證實所考察儀器的性能指標。需要說明的是，所有這些指標是以簡單水溶液標準(1~10ppm)和溶液來測試并理論計算所得，加上有些公司為了表現(xiàn)其“優(yōu)良”的“表觀”指標，在儀器設計上采用了一些“技術”，以獲得不同條件下各自的*指標，例如用小狹縫來表演其“好”的“分辯率”，用大狹縫來展現(xiàn)其“檢出限”等等。因此，這些指標與實際分析時的性能往往有較大的差距，因為實際樣品中會存在的基體，而產(chǎn)生一定的干擾和基體效應，人們期望的是在好的分辯率下獲得好的靈敏度和穩(wěn)定性。因此考察儀器時，除了要關心儀器的“表觀”指標外，更應重視儀器在實際樣品分析中所表現(xiàn)的真實性能?？疾靸x器時，通常可選用能反映用戶實際樣品情況的某些標準樣品來進行考核，考核樣品應能盡量展現(xiàn)儀器的性能：既有微量、痕量元素(特別是遠紫外譜線P、S)——以反映儀器的實際檢出限和分辯率;又有主量元素——以反映全譜任意選擇的靈活性、線性和穩(wěn)定性。例如銅金礦、銅合金、合金鋼等國家標樣。
目前ICP光譜儀主要分為多道型、單道掃描型以及全譜直讀型，其中多道型和單道掃描型代表的是80年代的技術水平，它們以光電倍增管為檢測器，技術上非常成熟，但也較落后，其中多道型已幾乎退出歷史舞臺，單道掃描型以其合適的價格和靈活方便仍占有一定的*。全譜直讀型儀器代表了當今ICP的技術水準，它以CID或CCD(SCD)半導體器件為檢測器;中階梯光柵結合棱鏡(或平面光柵)構成二維、高分辯率、高能量色散系統(tǒng)，能同時獲得各元素譜線的信息。此類型儀器經(jīng)近十年的不斷完善和發(fā)展，目前已成為ICP光譜儀的主流。
根據(jù)不同的應用領域，ICP光譜儀又有垂直觀測、水平觀測和雙向觀測之分，其中垂直觀測型儀器主要適用于基體較為復雜的冶金、地礦、有色金屬等領域;水平觀測型儀器適用于基體較為簡單的水質、環(huán)保、食品衛(wèi)生等領域;雙向觀測型儀器實際上是以水平觀測為主附加垂直觀測的儀器，它的*應用范圍仍是基體較為簡單的領域，雙向觀測能彌補水平觀測中所存在的易電離干擾、線性范圍變窄等一些缺陷。
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